离子溅射仪

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    使用者
  • 2878/次
    机时次数
  • 3358.98/小时
    总时长
  • 19/次
    送样次数
  • 195/人
    收藏者

收费标准

机时
50元/次
送样
详见检测项目

设备型号

E-1010

当前状态

管理员

王锦

放置地点

仙林校区教4115(2)115(2)-2
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名称

离子溅射仪

资产编号

41153

型号

E-1010

规格

铂靶

产地

厂家

所属品牌

出产日期

购买日期

所属单位

材料科学与工程学院

使用性质

科研

所属分类

微纳电子中心

资产负责人

--

联系电话

联系邮箱

放置地点

仙林校区教4115(2)115(2)-2
  • 主要规格&技术指标
  • 主要功能及特色
  • 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
铂靶
主要功能及特色
用于在不导电的样品表面喷镀一层2-15nm后的贵金属(金、铂或合金),用于减轻使用二次电子观察样品表面时由于电荷积累引起的放电效应,改善图像质量。
设备使用相关说明
按照溅射次数
15mA、30s为一个单位
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